湖南普照申請去除拋光液的清洗裝置及清洗方法專利避免清洗基板時出現不良影響
作者:小編 發布時間:2024-10-25 12:08:26 瀏覽:次
湖南普照申請去除拋光液的清洗裝置及清洗方法專利避免清洗基板時出現不良影響金融界2024年10月16日消息,國家知識產權局信息顯示博魚官方網站,湖南普照信息材料有限公司申請一項名為“一種去除拋光液的清洗裝置及清洗方法”的專利,公開號 CN 118768278 A,申請日期為2024年6月。
專利摘要顯示,本發明公開了一種去除基板拋光液的清洗方法,包括:將基板進行高壓水清洗,具體為,對水加壓形成水射流,水射流通過弧形噴口對基板進行機械力沖洗;對高壓水清洗后的基板進行刷洗,具體為,旋轉基板并用毛刷對基板進行刷洗,所述毛刷在水平方向進行自轉運動,且所述毛刷的旋轉方向與基板的旋轉方向相反;對刷洗后的基板進行沖淋,具體為,對基板正面進行熱水或常溫水沖淋,對基板背面進行常溫水噴淋;對清洗后的基板進行干燥。通過該清洗裝置及方法能避免人工擦拭去除顆粒的方式造成用力不均勻,及對襯底產生破壞性的影響;同時也能避免采用水沖或擦拭無法干燥或干燥不均勻的問題。